26 關於超大型積體電路的製造流程中，用以製作有形電路與導線的製程順序，下列何者正確？
(A)薄膜製作→微影→蝕刻→摻雜
(B)微影→薄膜製作→摻雜→蝕刻
(C)蝕刻→摻雜→微影→薄膜製作
(D)摻雜→蝕刻→薄膜製作→微影

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統計： A(568), B(102), C(56), D(62), E(0) #1768129

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#3111814
IC製造從矽晶圓開始，經過一連串製程步驟...
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