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原子物理
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94年 - 94-2 高等考試_三級_核子工程：原子物理#40577
> 申論題
題組內容
四、鎂（Mg）的原子序是 12，請回答下列問題：（25 分）
⑶在以上各態間會發生輻射躍遷而放出光譜的有那些？（假設無外場）
相關申論題
⑷若外加弱磁場，再作圖畫出所有可能的躍遷。
#125231
一、請說明在光微影蝕刻術（optical lithography）中，紫外光所扮演的角色。 （5分）
#125232
二、在什麼情況下，我們使用 r.f.濺鍍而不使用 d.c.濺鍍？（5 分）
#125233
三、在什麼情況下，我們在矽元件中使用氮化矽（silicon nitride）作絕緣層而不使用氧化 矽（silicon dioxide）？（5 分）
#125234
四、請說明為什麼半導體在離子佈植後，熱處理需要使用比較高的溫度來進行？（5 分）
#125235
五、通常在離子佈植過程中，我們使用光阻來作為阻止離子佈植的區域；而在擴散過程 中卻不使用光阻來作為阻止摻雜雜質擴散的區域。為什麼？（10 分）
#125236
六、以化學氣相沉積法（CVD）成長的氧化物及氮化物分別稱為 SiO2 及 Si3N4，而以電漿 加強式化學氣相沉積法（PECVD）成長的氧化物及氮化物分別稱為 SiOx 及 SiNx，為 什麼？（10 分）
#125237
(一)請說明它們形成歐姆接觸的機制。 （10 分）
#125238
(二)在接觸電 阻的量測技 術， 我們常 使用 一種 稱為傳 輸線 方法（ transmission line ，請描述此方法如何量測接觸電阻。 method） （10 分）
#125239
(一) 請說明這兩種量測方法的基本原理。（10 分）
#125240
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