⑴程序進料及總產物的組成。 （8 分）

⑵單程轉化率。 （4 分）

⑶總轉化率。 （4分）

⑷反應式 A → xB 之 x 值。 （6分）

⑴求使閉迴路極點（closed-loop poles）落在 {−2 + j2 , −2 − j2} 的狀態回授增益 K。 （10 分）

⑵試設計狀態估測器極點落在（ − 4, −4 ）。（10 分）

⑶將上述控制法則和狀態估測器結合並證明閉迴路系統極點仍為{−2 + j2 , −2 − j2} 。 （10 分）

一、液相一階不可逆反應 A → B 於一體積 600 公升之非理想流動式反應器中進行，進料 含有 40 mol%的 A 與 60 mol%的惰性物質，進料總莫耳流率為 100 mol/min，進料濃 度 CA0 = 1 mol/L，出口處 A 之轉化率（conversion）為 0.92。若相同的反應條件發生 在體積 600 公升之理想栓流反應器 （plug flow reactor, PFR） A 之轉化率可達 0.98。 中， 假設此非理想反應器之行為與 N 個等體積串聯之連續攪拌槽反應器（continuous stirred tank reactor, CSTR）行為相同，且此 N 個 CSTR 體積總和亦為 600 公升。基於 此假設，請計算出 N 的數值 （N 可為非整數） 以及此反應之速率常數 （rate constant）。 （25 分）

⑴請推導矽薄膜之生成速率表示式（rSi）。（15 分）

⑵請分別說明矽薄膜之生成速率隨 SiCl4、H2 與 Cl2 分壓之變化關係。（6 分）

⑶請問此反應機制是遵守 Eley-Rideal 還是 Langmuir-Hinshelwood 理論。（4 分）

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